通过查阅大量学习资料,总结如下关于HJT技术的详细生产工艺流程,如有不足,欢迎指正:
1、硅基片制备:首先,需要准备一块高质量的n型硅基片作为电池片的基础。该硅基片需要经过去杂质、 磨平、清洗等工艺步骤,以保证其表面质量和纯度。
2、衬底氧化:将硅基片表面进行氧化处理以形成一层薄薄的绝缘层。这一步的目的是为了改善表面的电学性能并提高后续步骤中的薄膜质量。
3、薄膜沉积:使用化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)技术,将一层细微的非晶硅薄膜沉积在硅基片上。这层薄膜通常具有Intrinsic的性质,即不含掺杂杂质,并且在物理上为非晶态。
4、衬底清洗:将薄膜沉积后的硅基片进行化学清洗,以去除其表面可能存在的杂质和污染物。
5、低温退火:将硅基片在较低的温度下进行退火处理,以促进薄膜的结晶并提高晶体硅和非晶硅界面的质量。
6、透明导电氧化物层生长:在硅基片上生长一层透明导电氧化物(TCO),例如氟化锡氧化锡(FTO)或氧化锌(ZnO)。这一层薄膜具有良好的导电性和透明度,用于光电流的导出。
7、截断:使用激光或机械切割技术,将硅基片切割成较小的电池片。
8、背电极的镀膜:在电池片的背面沉积一层金或铝等导电材料,用作背电极。
9、背电极退火:在较高的温度下对金属背电极进行退火,以改善电极和硅基片之间的接触和导电性。
10、N型HJT层制备:在背电极上沉积一层n型摩尔薄材或n型硅薄膜,形成HJT结构的n型层。
11、P型HJT层制备:在n型层上沉积一层p型摩尔薄材或p型硅薄膜,形成HJT结构的p型层。
12、透明封装:在电池片的正面涂覆一层透明封装材料,例如聚合物或玻璃,保护电池片并增强透明度以提高光吸收。
13、输出接线:在电池片上连接正负极,以导出电流。
总结:光伏电池片HJT技术的生产工艺包括硅基片制备、薄膜沉积、背电极镀金、N型和P型HJT层制备等关键步骤。通过这些步骤,可以生产出高效率、高可靠性和低成本的光伏电池片,推动清洁能源的应用和可持续发展。这些工艺步骤都需要严格的工艺控制和质量管理,以确保电池片的高质量和稳定性。